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愛德華真空泵一級代理商東莞市品雅真空設備有限公司專業(yè)從事愛德華真空泵銷售和維修,常年現(xiàn)貨提供個愛德華真空泵油,愛德華真空泵維修配件,各種愛德華螺桿,羅茨系列真空泵產(chǎn)品,為廣大的愛德華真空泵使用者提供后續(xù)維護保養(yǎng)工作。
iGX 600N干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本,并在整個壓力范圍內(nèi)保持連續(xù)一致的泵送能力。
iGX 600M干泵包括以太網(wǎng)連接功能,允許通過網(wǎng)頁查看主要數(shù)據(jù),另外還包括一套全面的網(wǎng)絡選項,可確保泵持續(xù)運轉(zhuǎn)。
iGX 1000N泵的峰值速度范圍很寬,并可以改變以適合各種應用條件,包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內(nèi)的多種安裝選項。
功能和優(yōu)勢:
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比,設施成本最多可降低 50%
無需預防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便,便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的最快的負載鎖定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環(huán)境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
IGX600系列參數(shù):
峰值速度 | 105 m3h-1 |
62 cfm | |
1750 l min-1 | |
極限壓力 | 5.00E-03?mbar |
3.75E-03?Torr | |
0.50 Pa | |
700 Torr 排氣壓力下的極限 | |
極限 | 1 kW |
AUC(有源設備控制器) | 0.05 kW |
水入口* | 1 slm |
氮 | 4 或 14?slm |
占地面積(不包括排氣裝置) | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg |
進氣口連接 | ISO63 |
出口連接 | NW25 |
極限噪音 | <?55 dB(A) |
東莞市品雅真空設備有限公司專業(yè)提供愛德華螺桿真空泵IGX1000N系列產(chǎn)品及維修配件等等!
應用行業(yè):
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
氧化物腐蝕
硅腐蝕
金屬腐蝕
這個IGX系列干式螺桿真空泵在半導體行業(yè)有著廣泛的使用,這種系列產(chǎn)品類型眾多,從低抽速到高抽速產(chǎn)品覆蓋廣泛,使用于不同的設備,提供無污染的綠色真空。
訂貨系列號:
iGX600L 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54630958
iGX600L 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54630959
iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54632958
iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54632959
iGX600N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54631958
iGX600N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54631959
iGX1000N 干式泵 200-230V 50/60 Hz
A54681958
iGX1000N 干式泵 380-460V 50/60 Hz
A54681959
東莞市品雅真空設備有限公司專用維修愛德華螺桿真空泵IGX600系列產(chǎn)品,同時能上門維修EH2600/EH1200等產(chǎn)品
愛德華螺桿真空泵IGX600產(chǎn)品功能與優(yōu)勢:
優(yōu)化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。