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iXL 高性能干式真空泵機組,從低到高抽速應有盡,滿足各種真空鍍膜,氣量需求。
iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場 領(lǐng)域涉及的所有排氣要求。
這些性能領(lǐng)先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量,同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外,大修間隔期內(nèi)無須 維護。
適用于半導體和太陽能應用的小型 iXL 干泵
iXL120:緊湊型低能量的 110 m3/h 干泵,用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它可 快速抽空負載鎖定艙室,能耗極低???用于負載鎖定和清潔應用的最小且最輕的泵之一。 其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于安裝在機臺上或 工廠的夾心層中,從而有助于節(jié)省寶貴的工廠地面空間。環(huán)保 模式可在空閑期間降低設(shè)備使用率,從而降低使用成本, 有助于保護環(huán)境。
一流的艙室抽空時間可減少 總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗 有助于最大程度減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑 期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水 供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕, 有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
品雅真空是愛德華真空泵全國一級代理商,專業(yè)銷售和維修愛德華真空泵系列,萊寶真空泵,阿特拉斯真空泵,安捷倫分子泵,島津分子泵,漢鐘螺桿真空泵,普旭真空泵等等,提供各種進口真空泵配件耗材,真空泵油等。
iXH 系列干泵產(chǎn)品是 Edwards 的市場領(lǐng)先 iH 產(chǎn)品的換代升級,為嚴苛制程能力 樹立了新標準,它在世界上的許多 300mm 半導體和平板 工廠內(nèi)通過提高制程可靠性實現(xiàn)低擁有成本。
可滿足 FPD、太陽能、 半導體和 LED 制造業(yè)中日益提高的氣體流量要求的 完美大容量干泵和增壓泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,這些泵還配備多種特性 以確保在嚴苛制程中具有最大可靠性。
iXH 泵采用模塊化設(shè)計,符合 當今的制程要求,并且對于前沿工廠中不斷涌現(xiàn)的應用挑戰(zhàn) 有著路線明確的應對計劃。
東莞市品雅真空設(shè)備有限公司專用維修愛德華螺桿泵IXL120E系列產(chǎn)品,提供維修配件及真空泵油。
IXL120E技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品 | iXL120 |
峰值速度 | 110 m3h-1 |
65 cfm | |
1833 lmin-1 | |
極限壓力(典型) | 0.013 mbar |
0.009 Torr | |
1.3 Pa | |
極限功率 | 0.55 kW |
環(huán)保模式功率 | 0.045 kW |
進氣口連接 | |
垂直 | ISO63 |
水平 | NW50 |
出口連接 | NW25 |
冷卻水接頭 | 可選 |
水流量 | 1 lmin-1 |
重量 | 59 kg |
訂貨號:
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭
A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷卻水接頭流量控制閥
A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
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iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
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iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭
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iXL120N E 200-460V 1/4 QC 冷卻水接頭
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iXL120N E 200-460V SPI TIM 3/8 QC 冷卻水接頭
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iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭
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iXL120N E 200-460V 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
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iXL120N E 200-460V TEL 3/8 QC 冷卻水接頭流量控制閥
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東莞市品雅真空設(shè)備有限公司專業(yè)銷售愛德華螺桿泵IXL120E系列產(chǎn)品,可以為客戶提供上門安裝服務,最快的訂貨周期滿足可以使用需求。
愛德華螺桿泵IXL120E/NE優(yōu)勢及功能:
一流的艙室抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功耗有助于最大程度減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在空閑期間最多減少 92% 的功耗
最高 35?oC 的水供給有助于降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極輕,有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
油潤滑的精密軸承可確保順暢、低振動的運行,無需例行維護工作。
獨特的雙入口布置可實現(xiàn)高效的前級輸送和位置選件
零氮吹掃選件無需氮氣供給,從而節(jié)省安裝和運行成本
XL1000:緊湊型低能量的干 泵,適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗??捎糜谳p負載應用(如晶圓加工、PVD 和 計量)的最小且最安靜的泵之一。此產(chǎn)品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎(chǔ)上構(gòu)建,具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環(huán)保模式可在空閑期間降低設(shè)備 使用率,從而降低成本并幫助保護環(huán)境。
一流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環(huán)時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度減少客戶擁有成本
環(huán)保模式可以在 空閑期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供給有助于 降低設(shè)備冷卻水要求
極小且極 輕,有助于節(jié)省寶貴的工廠空間
適用于 Applied Materials 制程平臺的 IPUPIPUP2:緊湊型低能量的 180m3/h 干泵,用于晶圓加工和其他清潔工作應用。它能夠 以低能耗快速抽空負載鎖定艙室。
IPUP2 小巧輕便,適用于負載鎖定 和清潔應用。其低振動和低噪聲級的優(yōu)點使其適合于 在機臺上使用或安裝在工廠的夾心層中,從而有助于節(jié)省寶貴的 工廠地面空間,同時最大程序地提高泵送性能。環(huán)保模式可在 空閑期間降低設(shè)備使用率,從而降低使用成本, 有助于保護環(huán)境。
適合在 Applied Materials 的制程平臺上使用, 可提高處理能力,同時減少能耗。
3 萬億次循環(huán) MTBF
與原始 IPUP™ 相比,速度 提高 50%,能耗降低 70%
提供適用于現(xiàn)有 IPUP™ 的 插入式替換部件