干式真空泵種類很多，如果按照工作原理分類的話，可分為兩類：容積式干式真空泵和動(dòng)量傳遞式干式真空泵。這兩類的干式真空泵，各自的特點(diǎn)又有哪些呢？ 一般干式真空泵的特點(diǎn)為：清潔；安全；耐磨；造價(jià)低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動(dòng)小，噪音低。正因?yàn)橛羞@些特性，干式真空泵才有著更加有意義的價(jià)值和更廣泛的使用。在清潔的要求方面，一些用油潤(rùn)滑的干式真空泵都會(huì)有一個(gè)潛在的油蒸氣的污染源存在，必須采取一定措施加以解決這個(gè)問題。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)主要應(yīng)用對(duì)象的干式真空泵，會(huì)在許多抽氣工藝過程中出現(xiàn)一些顆粒物，一般說來，在干式真空泵中出現(xiàn)顆粒物有三種情況：

1、當(dāng)泵內(nèi)壓力增高時(shí)引起氣固變相過程的發(fā)生；
2、在泵內(nèi)產(chǎn)生反應(yīng)氣體的生成物；
3、抽氣過程混入的顆粒物。
防止顆粒物在泵中形成的更好措施有：

1、恰當(dāng)提高泵溫。物質(zhì)的升華、凝結(jié)是壓力和溫度的函數(shù)，且函數(shù)聯(lián)系隨物質(zhì)的不同而不同，所以調(diào)整泵的溫度可避免氣固變相進(jìn)程的發(fā)作。

2、下降參加化學(xué)反響氣體的濃度。單位時(shí)間內(nèi)氣體反響生成物（顆粒）的數(shù)量可用反響率來表明，而反響率和反響氣體濃度成指數(shù)聯(lián)系，所以在生產(chǎn)工藝中充入惰性氣體，減少反響氣體濃度是下降生成顆粒物的更有效的辦法，通常這類泵緊縮氣體之前就通入惰性氣體，避免固體顆粒物的發(fā)生。

3、增加抽氣通道中的氣流速度，為避免處于懸浮狀態(tài)的固體顆粒物堆積，使氣體的流動(dòng)速度大于顆粒物堆積的臨界速度（即更大下降速度），在泵內(nèi)及早充入適量的氣體，使氣流速率大于顆粒堆積臨界速度，保證顆粒物實(shí)現(xiàn)氣動(dòng)運(yùn)送，但是充入氣量不能過大，過大的氣量將影響泵的極限壓力，在不同的抽氣體系中，經(jīng)過試驗(yàn)斷定更佳充入氣量。

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