1、螺桿真空泵里沖入氮?dú)馐菫榱嗽谡婵毡脙?nèi)壁形成微弱保護(hù)氣膜，氮?dú)鈮毫Σ灰诉^(guò)大，也不宜過(guò)小，過(guò)大會(huì)影響抽真空效果和增加能耗；過(guò)小可能導(dǎo)致形不成保護(hù)效果。
2、抽腐蝕性氣體的泵會(huì)用到氮?dú)?，氮?dú)鈱?duì)泵進(jìn)行吹掃，延緩腐蝕性氣體對(duì)泵的腐蝕。
3、是真空鍍膜工藝中用到的一些氣體對(duì)螺桿真空泵有腐蝕作用，所以會(huì)采用這種泵。但是墻體里通的氮?dú)夂捅糜玫氖欠珠_(kāi)的。
4、沖多少單位的氮?dú)夂缶湍苠兡こ鏊麄冃枰念伾?。有些顏色用乙炔。在?shí)際運(yùn)用中，多數(shù)使用氬氣。
5、氣密，稀釋制程氣體。減輕腐蝕及制程附著。
6、氮?dú)庠跊](méi)有一定的溫度、壓力或者是催化劑等輔助條件下，很難與外界發(fā)生反應(yīng)。因此在泵系統(tǒng)清洗過(guò)程中，利用氮?dú)獯祾撸鼮榘踩煽俊?br /> 7、氮?dú)獾奈綗嵝?，吸附于物體表面的時(shí)間短。當(dāng)?shù)獨(dú)馕接诼輻U真空泵的器壁表面時(shí)，將會(huì)很容易被抽走。真空系統(tǒng)清洗中的氮?dú)獯祾哒嚼昧怂倪@個(gè)特性。在真空鍍膜中，用干燥氮?dú)獯祾咔逑催^(guò)真空系統(tǒng)后，氮分子會(huì)首先吸附于真空系統(tǒng)的器壁。由于器壁表面的吸附位是一定的，被氮分子沾滿后，其他的分子如水分子等就會(huì)減少。因而真空系統(tǒng)的整個(gè)抽氣時(shí)間就會(huì)大大減少。
氮?dú)馐且环N穩(wěn)定無(wú)害的氣體，可以很好的對(duì)螺桿真空泵起到保護(hù)作用，有效延長(zhǎng)使用壽命，減緩腐蝕問(wèn)題。

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