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      愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600

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      愛(ài)德華真空泵IH600/IH1000在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的使用,一般是配合羅茨型真空泵EH2600使用,可以更快的為客戶提供所需真空,同時(shí)螺桿真空泵在處理水分和小型顆粒,腐蝕性氣體非常合適。

      Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

      iH600/1000 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

      愛(ài)德華真空泵針對(duì)不同的行業(yè),推出不同的真空泵配型,不同的行業(yè),由于使用環(huán)境和工作運(yùn)行狀態(tài)不同,需要的產(chǎn)品性能不同,因此愛(ài)德華真空泵產(chǎn)品類型眾多,沒(méi)一款產(chǎn)品都是針對(duì)不同的行業(yè)使用有著非常明顯的效果,在高真空和超高真空領(lǐng)域有著非常強(qiáng)大的領(lǐng)導(dǎo)地位。

      行業(yè)應(yīng)用:
      負(fù)載鎖
      輸送
      計(jì)量
      平版印刷
      PVD 制程
      PVD 預(yù)清潔
      RTA
      剝離/灰化
      刻蝕
      植入源
      HDP CVD
      RTP
      SACVD
      MCVD
      PECVD
      LPCVD
      ALD

      IH600訂貨號(hào):

      iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
      A59020908
      iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
      A59020945
      iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
      A59020946
      iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
      A59020957

      愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600性能參數(shù):

         
      峰值速度 600 m3h-1
        353 cfm
        10000 l min-1
      極限真空 7 x 10-4?mbar
        5.3 x 10-4?Torr
        0.07 Pa
      典型軸封氮流量 4 slm
      進(jìn)氣口連接 ISO100
      出口連接 NW40
      15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
        4 l min-1
      重量 415 kg
      極限功率輸入 3.4 kW
      電機(jī)額定功率 6.1 kW
      油容量 1.43 l

      IH1000性能參數(shù):

      峰值速度 1000 m3h-1
        589 cfm
        16670 l min-1
      極限真空 1 x 10-3?mbar
        7.5 x 10-4?Torr
        0.1 Pa
      典型軸封氮流量 4 slm
      進(jìn)氣口連接 ISO100
      出口連接 NW40
      15 psi 壓降下典型冷卻水流量 240 l h-1
        4 l min-1
      重量 430 kg
      極限功率輸入 3.8 kW
      電機(jī)額定功率 6.1 kW
      油容量 1.48 l

      iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相
      A59030908
      iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
      A59030945
      iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
      A59030946
      iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相
      A59030957

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