愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600維修保養(yǎng),愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH1000,江蘇愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600,全國(guó)一級(jí)代理商愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600,現(xiàn)貨供應(yīng)愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600維修配件,全國(guó)上門保養(yǎng)愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600,歡迎來(lái)電咨詢:13826954831 楊生
愛(ài)德華真空泵IH600/IH1000在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的使用,一般是配合羅茨型真空泵EH2600使用,可以更快的為客戶提供所需真空,同時(shí)螺桿真空泵在處理水分和小型顆粒,腐蝕性氣體非常合適。
Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照最高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)最大程度地減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH600/1000 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。
愛(ài)德華真空泵針對(duì)不同的行業(yè),推出不同的真空泵配型,不同的行業(yè),由于使用環(huán)境和工作運(yùn)行狀態(tài)不同,需要的產(chǎn)品性能不同,因此愛(ài)德華真空泵產(chǎn)品類型眾多,沒(méi)一款產(chǎn)品都是針對(duì)不同的行業(yè)使用有著非常明顯的效果,在高真空和超高真空領(lǐng)域有著非常強(qiáng)大的領(lǐng)導(dǎo)地位。
行業(yè)應(yīng)用:
負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
IH600訂貨號(hào):
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59020957
愛(ài)德華半導(dǎo)體螺桿真空泵IH600性能參數(shù):
峰值速度 | 600 m3h-1 |
353 cfm | |
10000 l min-1 | |
極限真空 | 7 x 10-4?mbar |
5.3 x 10-4?Torr | |
0.07 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進(jìn)氣口連接 | ISO100 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 415 kg |
極限功率輸入 | 3.4 kW |
電機(jī)額定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.43 l |
IH1000性能參數(shù):
峰值速度 | 1000 m3h-1 |
589 cfm | |
16670 l min-1 | |
極限真空 | 1 x 10-3?mbar |
7.5 x 10-4?Torr | |
0.1 Pa | |
典型軸封氮流量 | 4 slm |
進(jìn)氣口連接 | ISO100 |
出口連接 | NW40 |
15 psi 壓降下典型冷卻水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 430 kg |
極限功率輸入 | 3.8 kW |
電機(jī)額定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.48 l |
iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相
A59030908
iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相
A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相
A59030946
iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相
A59030957